프랙틸리아, EUV 공정 수율 관리해주는 '스토캐스틱 솔루션' 선봬

    프랙틸리아(Fractilia)는 반도체 팹에 수십억달러 규모의 손해를 입히는 EUV 수율 문제를 관리해주는 FAME(Fractilia Automated Measurement Environment) 제품의 최신 버전을 출시한다고 22일 밝혔다. 프랙틸리아는 첨단 반도체 제조에 사용되는 스토캐스틱스(stochastics) 측정 및 제어 솔루션 분야 기업이다.FAME 제품 라인은 첨단 노드에서 패터닝 오류를 일으키는 주된 요인인 스토캐스틱스를 고도로 정확하고 정밀하게 측정한다. 프랙틸리아의 FAME 제품을 활용하면 의사결정을 더 신속하게...